Pagrindiniai skirtumai tarpsilicio nitrido substratasir substratas yra jų apibrėžimai, naudojimas ir savybės.
Silicio nitrido substratas:Silicio nitrido substratasyra keraminė medžiaga, daugiausia naudojama galios puslaidininkinių įtaisų, ypač galios modulių, gamyboje. Jis turi aukštą šilumos laidumą, didelį mechaninį stiprumą ir gerą šiluminį atitikimą, todėl tinka naudoti scenarijuose, kuriems reikalingas didelis patikimumas ir atsparumas aukštai temperatūrai. Substratas: substratas paprastai reiškia pagrindinę atraminę konstrukciją, naudojamą lustų gamybai. Įprastos substratų medžiagos yra monokristalinės silicio plokštelės, SOI substratai, SiGe substratai ir kt. Pagrindo pasirinkimas priklauso nuo konkrečių taikymo reikalavimų, pvz., integrinių grandynų, mikroprocesorių, atminties ir kt.
Didelis šilumos laidumas: silicio nitrido šilumos laidumas siekia 80 W/m·K ar daugiau, o tai tinka didelės galios įrenginių šilumos išsklaidymo poreikiams. Didelis mechaninis stiprumas: pasižymi dideliu atsparumu lenkimui ir dideliu atsparumu lūžiams, todėl užtikrina aukštą patikimumą. Šiluminio plėtimosi koeficiento atitikimas : jis labai panašus į SiC kristalinį substratą, užtikrina stabilų atitikimą tarp dviejų ir padidina bendrą patikimumą.
Substratas
Įvairūs tipai : Įskaitant monokristalines silicio plokšteles, SOI substratus, SiGe substratus ir kt., kiekviena substrato medžiaga turi specifinę taikymo sritį ir veikimo privalumus.
Platus panaudojimo spektras : naudojamas įvairių tipų lustams ir įrenginiams, pvz., integriniams grandynams, mikroprocesoriams, atminčiai ir kt., gaminti.
Silicio nitrido substratas : daugiausia naudojamas didelės galios įrenginiams tokiose srityse kaip naujos energijos transporto priemonės ir modernūs transporto bėgiai. Dėl puikių šilumos išsklaidymo savybių, mechaninio stiprumo ir stabilumo jis tinka aukštiems patikimumo reikalavimams sudėtingose aplinkose .
Substratas: plačiai naudojamas įvairių lustų gamyboje, o konkretus pritaikymas priklauso nuo pagrindo tipo. Pavyzdžiui, monokristalinės silicio plokštelės yra plačiai naudojamos integrinių grandynų ir mikroprocesorių gamyboje, SOI substratai tinka didelio našumo, mažos galios integriniams grandynams, o SiGe substratai naudojami heterosandūriniams dvipoliams tranzistoriams ir mišrioms signalų grandinėms ir kt. .